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產(chǎn)品展示

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1100℃三溫區(qū)大口徑管式爐

產(chǎn)品詳情

型號:GSL-1100X-XX-III

產(chǎn)品概述:GSL-1100X-XX-III是CE認證的三溫區(qū)大口徑管式爐,此系列管式爐可選擇三種爐管直徑:6英寸(152mm)、8.5英寸(216mm)和11英寸(279mm)。設備最高加熱溫度可達1100℃,控溫精度為+/-1℃并可設置30段升降溫程序。此款設備配有鉸鏈式法蘭,可對材料在真空或氣氛保護環(huán)境下進行熱處理。

免責聲明: 本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容(包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等)僅用于宣傳用途,僅供參考。由于更新不及時和網(wǎng)站不可預知的BUG可能會造成數(shù)據(jù)與實物的偏差,請勿復制或者截圖。如果您對參數(shù)有異議,或者想了解產(chǎn)品詳細信息及更多參數(shù),請與本公司銷售人員聯(lián)系。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾,請勿將此參數(shù)用于招標文件或者合同,公司會不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息,恕不另行通知,請您諒解。 如果您需要下載產(chǎn)品的電子版技術(shù)文檔,說明書(在線閱覽),裝箱單,與售后安裝條件等文件,請點擊上方的附件下載模塊中選取。商城產(chǎn)品僅針對大陸地區(qū)客戶,購買前請與工作人員溝通,以免給您帶來不便。
技術(shù)參數(shù)實驗案例警示/應用提示配件詳情
名稱

1100℃三溫區(qū)大口徑管式爐GSL-1100X-XX-III

產(chǎn)品提示
1、大體積設備提示   2、多種配件可選提示


設備型號
GSL-1100X-6-III GSL-1100X-8.5-III GSL-1100X-11-III


高純石英管尺寸
152 OD x 143 ID x 1300mm L 216 OD x 206 ID x 1300mm L 279 OD x 269 ID x 1300mm L


石英舟(可選)

最大可兼容4”直徑基片

最大可兼容6”直徑基片

最大可兼容8”直徑基片

 


爐體結(jié)構(gòu)

·采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風冷系統(tǒng)


·設備中配有2個氧化鋁管堵,設備使用時必須把管堵塞入到爐管兩端(保證恒溫區(qū)和密封圈的密封性)(點擊圖片查看詳細資料)


·高純氧化鋁纖維作為爐膛材料(表面涂有高溫氧化鋁涂層,可提高加熱效率延長爐膛使用壽命)


·該爐可作為退火或擴散爐,最大可用于8晶片放在對應石英舟中

  


基本參數(shù)

熱偶K型熱偶    建議升溫速率10℃/min  


溫度:1000℃ 1100℃1h  電源:AC220,50Hz   最大功率:12KW


加熱區(qū)

加熱區(qū)長度:900mm (三溫區(qū):300mm+300mm+300mm)

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層,可以極大程度延長使用壽命)

密封法蘭

·采用鉸鏈式法蘭和O形密封圈加上機械泵可使真空度達到10-2Torr


·可選購一套溫度測試裝置(鎧裝熱偶、補償導線和溫度儀表),用于測試爐管內(nèi)部的溫度


·左側(cè)水冷法蘭:真空壓力表、不銹鋼針形閥和1/4”寶塔嘴接頭


·右側(cè)水冷法蘭:kf40真空接口,方便連接到kf40適用的波紋管、kf40擋板閥。(如果您的泵是kf25接口,你需要一個kf40-kf25轉(zhuǎn)接頭)

  


溫控系統(tǒng)

·包含一款YD518P型溫度控制器


·PID自動控溫系統(tǒng)


·智能化30段可編程控制


·控溫精度:±1℃


·三個溫區(qū)分別有三個獨立的溫控系統(tǒng)控制


·默認DB9 PC通信連接端口


·通過MET認證


·可選購電腦溫度控制軟件(用于YD518P系列控制器)用于控制升溫曲線和導出數(shù)據(jù)


溫度校準(可選)

·定期對管式爐進行溫度校準,保持溫度的準確性和均勻性。您可以在我公司選購一個簡單的校準工具包,輔助您完成這項工作,完整的校準套件包括


·48”L(1/4”O(jiān)D)K型熱電偶校準


·一Omega溫度校準器


·熱電偶補償線


·你可以考慮分子泵,真空度可達10-5Torr

  


外形尺寸

爐體尺寸:1880 L x 700W x 930 H mm

爐膛尺寸:Φ320x300X3

凈重

約200 kg

質(zhì)保期

一年保修,終身技術(shù)支持。


特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

真空系統(tǒng)

·多種真空系統(tǒng)可選


·可選購一個冷真空阱,以避免真空泵造成污染


質(zhì)量認證

所有電器元件(>24V)都通過UL/MET/CSA/CE認證,若客戶出認證費用,本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證。


使用注意事項

·爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa


·由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全


·當爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當


·進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊


·石英管的長時間使用溫度<1100℃


·對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)


應用提示

·如何在MTI管爐上放置管堵和真空法蘭


·為了在管式爐內(nèi)獲得準確的溫度,在使用前需要校準溫度,請點擊這里了解如何使用


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