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產(chǎn)品展示

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1100℃三溫區(qū)開(kāi)啟式管式爐

產(chǎn)品詳情

型號(hào):OTF-1100X-15-III

產(chǎn)品概述:OTF-1100X-15-III是一款通過(guò)CE認(rèn)證的三溫區(qū)管式爐,采用15英寸石英爐管及不銹鋼密封法蘭(安裝有不銹鋼截止閥和機(jī)械壓力表)。爐體設(shè)計(jì)為電動(dòng)開(kāi)啟式。三個(gè)溫區(qū)獨(dú)立控制,可設(shè)置30段升降溫曲線,帶有超溫和短偶保護(hù),控溫精度為+/-0.5 oC。此款設(shè)備廣泛應(yīng)用于各種材料在真空或氣氛保護(hù)環(huán)境下的熱處理。

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技術(shù)參數(shù)實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
型號(hào)

OTF-1100X-15-III

爐體結(jié)構(gòu)

? 雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)


? 采用氧化鋁纖維作為爐膛材料


? 加熱元件:SiC棒


? 設(shè)備中配有2個(gè)氧化鋁管堵,以保證爐膛內(nèi)部溫度均勻性(爐體加熱前,管堵必須塞入到爐管內(nèi)部)


? 此管式爐可作為退火或擴(kuò)散管式爐(6英寸或8英寸晶片可用特殊石英支架裝載)


? 電動(dòng)開(kāi)啟式設(shè)計(jì),使得用戶操作更加簡(jiǎn)便


結(jié)構(gòu)圖氧化鋁管堵晶片裝載電動(dòng)開(kāi)啟


加熱區(qū)

? 總加熱區(qū)長(zhǎng)度1000mm


? 三個(gè)加熱區(qū): 330 mm + 330 mm + 330mm (12" per zone)


工作溫度

? 最高工作溫度1100℃


? 最高加熱速率:10℃/min


? 加熱元件:SiC棒(36根)


溫控系統(tǒng)

控溫精度為+/-0.5℃

爐管

? 15英寸高純石英爐管:尺寸:400mm OD. x 388mm ID.  x 1860mm L


? 注意:石英爐管易碎,操作需謹(jǐn)慎

 


真空密封&法蘭

? 一對(duì)不銹鋼真空密封法蘭(鉸鏈?zhǔn)剑?個(gè)硅膠密封圈,可使?fàn)t管內(nèi)真空度達(dá)到10^-3torr(采用機(jī)械泵抽真空)


? 左端法蘭:安裝有不銹鋼針閥,Φ6.35的進(jìn)氣口


? 右端法蘭:KF40真空泵接口Φ6.35鎧裝接口(用于熱偶插入到爐管內(nèi),測(cè)量爐管內(nèi)溫度和進(jìn)行溫度校準(zhǔn))


可選

? 此管式爐需定期校準(zhǔn),以保證溫度的準(zhǔn)確性和均勻性,我們可提供簡(jiǎn)單的校準(zhǔn)工具


             ·1根1200mm的K型鎧裝熱偶


             ·1個(gè)Omega溫度校準(zhǔn)儀表


             ·此型號(hào)管式爐只可選用機(jī)械泵,且最低真空度只能夠抽到-0.05MPa,否則可能造成爐管損傷


             ·4'' ~ 8'' 晶片石英支架


? 可與手套箱系統(tǒng)聯(lián)用,實(shí)現(xiàn)氧敏感性材料的燒結(jié)制備

           


電壓

? 三相380V,50/60 Hz

額定功率

? 20KW

產(chǎn)品尺寸

? 2300L x 1500W x 1400 H mm

 


凈重

? 300kg

質(zhì)保期

? 一年質(zhì)保期,終身維護(hù)(不包含爐管,加熱元件和密封圈)

質(zhì)量認(rèn)證

? CE認(rèn)證

? 所有電器元件(輸入電源大于24V)都通過(guò)了UL/MET/CSA

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