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產(chǎn)品展示

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1700℃三溫區(qū)管式爐

產(chǎn)品詳情

型號(hào):GSL-1700X-III-F3LV

產(chǎn)品概述:GSL-1700X-III-F3LV是一款通過(guò)CE認(rèn)證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其爐管直徑為60mm,其真空泵采用雙旋機(jī)械泵,混氣系統(tǒng)為3路浮子混氣系統(tǒng)。此高溫爐燒結(jié)溫度可達(dá)1700℃,真空度可達(dá)到5x10-2 torr ,可以混合1-3種氣體。

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技術(shù)參數(shù)實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
爐體結(jié)構(gòu)


最大功率

10KW(需要75A的空氣開(kāi)關(guān) )

電壓

AC 380V 50 Hz

加熱區(qū)
  • 總加熱區(qū)長(zhǎng)度:25" (630 mm)

  • 加熱溫區(qū)1長(zhǎng)度:7.5" (190 mm) 1400°C 通過(guò)4根硅碳棒加熱,最高溫度可達(dá)1400 注:由于測(cè)量手段及外部環(huán)境的影響,測(cè)量結(jié)果可能會(huì)有偏差,此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購(gòu)買產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù),請(qǐng)與我公司銷售人員聯(lián)系

  • 升溫速率:10°C/min

  • 加熱溫區(qū)2長(zhǎng)度:10" (250 mm)1700°C 通6根硅鉬棒加熱,最高溫度可達(dá)1700

  • 最快升溫速率:5°C/min

  • 加熱溫區(qū)3長(zhǎng)度:7.5" (190 mm) 1400°C 通過(guò)4根硅碳棒加熱,最高溫度可達(dá)1400

  • 最大升溫速率:10°C/min


爐管和法蘭尺寸
  • 99.8%高純剛玉管 purity Alumina Tube

  • (標(biāo)配)( 60mm) O.D.x I.D. (50mm) x 1200mm L

  • 一對(duì)60mm的不銹鋼密封法蘭,法蘭上已安裝閥門和儀表

  • 儀器中包括4個(gè)氧化鋁管堵


溫控系統(tǒng)


控溫精確度

+/-1°C

低真空系統(tǒng)
  • 采用TRP-12的雙旋機(jī)械泵,其針對(duì)于本公司的管式爐,真空度可達(dá)到 10-2 Torr.

  • 一個(gè)KF25的不銹鋼波紋管已安裝在真空系統(tǒng)上,其尺寸為 25mm Dia x 1000mm length ,可于管式爐上的法蘭相連接


防腐型真空計(jì)

其測(cè)量范圍為3.8x10-5  1125 Torr. 不需因測(cè)量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換

三路浮子混氣系統(tǒng)
  • 3個(gè)浮子流量計(jì)(精確度4%FS)安裝在一個(gè)移動(dòng)架上,可以推動(dòng),可同時(shí)混入三種不同氣體。

  • 第一路氣體流量范圍為10-100 cc/min.

  • 第二路氣體流量范圍為16-160 cc/min.

  • 第三路氣體流量范圍為25-250 cc/min.

  • 一個(gè)壓力表安裝在移動(dòng)加上,壓力表直接于移動(dòng)架內(nèi)的混氣箱相連接

  • 移動(dòng)架上安裝有4個(gè)不銹鋼針閥


尺寸

高溫爐:   863 L x 457 W x 711 H mm (34 L x 18 W x 28 H  inch)

質(zhì)保期& 質(zhì)量認(rèn)證

一年質(zhì)保期. (不包括爐管加熱元件和密封圈 .)

CE certified


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