雙爐體滑動(dòng)PECVD系統(tǒng)＆循環(huán)手套箱—OTF-1200X-PESDFG-50 （2019.12.18—科晶實(shí)驗(yàn)室審核）

1、多種配件可選提示   2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備   3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/strong>   4、配件妥善保管提示

? 真空法蘭在手套箱的左邊，與PECVD系統(tǒng)的石英管連接；

? 兩個(gè)爐體在一個(gè)滑軌上，可通過(guò)爐體的滑動(dòng)達(dá)到對(duì)樣品快速加熱和快速冷卻的效果。

? 連續(xù)工作溫度：1100℃

? 兩個(gè)爐體都可設(shè)置30段升降溫程序

? 高純氧化鋁纖維作為爐膛材料（表面涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率延長(zhǎng)爐膛使用壽命）

? 電源：AC220，50Hz   最大功率：3KW

? 帶有除水系統(tǒng)：保持水含量< 2 ppm

? 真空法蘭在手套箱的左邊，與PECVD系統(tǒng)的石英管連接

? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿(mǎn)足不同實(shí)驗(yàn)條件的需求。

	300W射頻電源	500W射頻電源	100W射頻電源
輸出功率	0-300W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）	0-500W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）	0-100W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）
射頻頻率	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）
匹配	自動(dòng)匹配	自動(dòng)匹配	手動(dòng)匹配
噪音	＜50dB	＜50dB	＜50dB
冷卻方式	風(fēng)冷	風(fēng)冷	風(fēng)冷
輸入電壓	AC180-250V	AC108-250V	AC110-240V
圖片

? 采用TRP-12的雙旋真空泵；

? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵；

? 真空度可達(dá)10-2Torr。

? 四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）；

? 流量范圍:

? 電壓：208-240V， AC， 50/60Hz；

? 氣體進(jìn)出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管；

? 不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出；

? PLC觸摸屏可以簡(jiǎn)便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。

? 爐體尺寸：1600mm(L) ′430mm (W) ′ 500mm(H)

? 手套箱尺寸：780mm(L)′ 700mm(W) ′ 650mm(H)

? CE認(rèn)證

? 所有電器元件通過(guò) UL / MET / CSA認(rèn)證

? 如您另外付費(fèi)，我們可以保證單臺(tái)儀器的TUV(UL61010)或CSA 認(rèn)證

? 一年質(zhì)保期，終身維護(hù)（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件）