· 高純石英管

· 內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命

· 外管尺寸: 279?O.D?x?269?I.D?x?1300mm?Length?(11"?O.D?x?10.6"?I.D?x?48"?L),兩端打開，可以連接法蘭

· 內管尺寸 : 216?OD?x?206?IDx?750?mm?Length?(8.5"OD?x?8.1"ID?x30"L),一端封閉另一端連接到氣體入口和出口.

請點擊下圖可查看爐管及法蘭安裝

· 采用雙層殼體結構，并帶有風冷

· 保溫材料采用高純氧化鋁纖維，環(huán)保節(jié)能，可以最大程度的減少熱量的損失.

· 加熱元件: NiCrAl電阻絲

· 儀器中包含兩個石英管塞，設備在加熱前必須放入爐管內，防止熱量以熱輻射的形式散失

·

如果使用內管進行薄膜的生長，那么最大可在8英寸的基片上

· 總加熱區(qū)長度： 900 mm (36")

三個溫區(qū): 300 mm + 300 mm + 300mm (12" per zone)

· 最高工作溫度 1100°C ( < 1 hour )

· 正常工作溫度: 200~1000°C

· 最大升溫速率& 降溫速率: 10°C/min

溫度均勻性（請點擊查看）

· 三個精密溫度控制器，采用PID方式控溫，并可設置30段升降溫程序，每個溫區(qū)可以進行獨立控溫

· 控溫儀表操作視頻

· 熱電偶: 三根 K型omega原裝熱電偶，每個溫區(qū)各一根

· 控溫精度: +/- 1°C

· SRC (Silicon?Controlled?Rectifier) power control

可選：PC控溫軟件，將溫度曲線和程序導入到電腦中（另購）

· 儀器中包含有一對不銹鋼真空密封法蘭，采用硅膠密封圈密封

· 真空度可以達到10^-2 torr（用機械泵）

· 左側法蘭：包括 化學汽相淀積進氣口和冷卻氣體in&out端口

右側法蘭: KF40真空接口和， KF40真空閥門直接于KF-40波紋管和真空泵相連接，（如想泵和KF-25接口相連接，需要另購一個KF-40轉KF-25接頭）

· 單相 220V AC, 50/60 Hz

包含電源線插頭AWG 8#

12KW (需50A空氣開關)

· 1300 L x 623 W x 940 H mm (51" L x 24.5" W x 37" H) (不包含真空法蘭）

1670 L x 623 W x 940 H mm (66" L x 24.5" W x 37" H) (包含真空密封法蘭)

200kg

70" x 70" x 65"

500Lbs (227kg)

一年質保期，相關耗材除外，如爐管密封圈，加熱元件等易耗件

CE認證