l 蒸汽壓力、ALD以及氣體流量參數(shù)均可通過一6英寸接觸屏由PLC進(jìn)行控制

l 兩個(gè)ALD進(jìn)氣閥

l 一個(gè)精密的4通道質(zhì)子流量計(jì)系統(tǒng)

l 請(qǐng)點(diǎn)擊下圖查看控制面板（點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料）

兩個(gè)ALD脈沖電磁閥（最小可在10ms完成閥門的開啟或關(guān)閉）

精密液體氣相發(fā)生器包含在本系統(tǒng)中并且連接到ALD進(jìn)氣閥

l 連續(xù)工作的最高溫度為1100℃

l 兩個(gè)溫區(qū)由兩個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)來控制，而且都為PID30段程序化控溫

l 輸入電壓：208-240V AC，單向

l 最大功率為4KW

l 爐管旋轉(zhuǎn)速度：0-10rpm

l 回轉(zhuǎn)爐爐管結(jié)構(gòu)如下圖所示：

公司具有多種真空機(jī)可供選（點(diǎn)擊下圖鏈接）

公司具有多種真空泵可供選配（點(diǎn)擊下圖鏈接）

l 可選購氣液混合裝置，用于CVD系統(tǒng)（圖1.2）

l 可選購恒溫控制模塊（圖3）

l 可選購金石英測(cè)試晶體（圖4）以及熱電偶用于薄膜厚度以及溫度的測(cè)試

一年保質(zhì)期，終身維護(hù)（不包含爐管，加熱元件和密封圈）

所有電器元件（＞24V）均滿足CE/UL/MET/CSA認(rèn)證,如您另付費(fèi)用，我們可保證單臺(tái)儀器通過TUV（UL61010）或CSA認(rèn)證

l 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

l 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全

l 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)

l 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊

l 點(diǎn)擊此處了解如何選擇本公司石英/陶瓷管以及管式爐真空法蘭

可利用ALD系統(tǒng)顯著降低石榴石結(jié)構(gòu)固態(tài)電解質(zhì)與電極之間的高的固固界面阻抗，相關(guān)文獻(xiàn)：Negating interfacial impedance in garnet-based solid-state Li metal batteries