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4電弧提拉法單晶生長(zhǎng)爐

產(chǎn)品詳情

型號(hào)：SP-MSM-4CZ

產(chǎn)品概述：SP-MSM-4CZ是一款采用4電弧的提拉法單晶生長(zhǎng)爐（采用Ar氣電弧對(duì)樣品熔融，提拉裝置提拉），其溫度可達(dá)3000℃。腔體為304不銹鋼腔體（帶有水冷夾層），真空度可達(dá)10-5Torr.此款單晶爐特別適合生長(zhǎng)高熔點(diǎn)的單晶，如Ti單晶，YSZ，SiC和CeRh2Si等等。

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技術(shù)參數(shù)實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情

腔體	l 采用304不銹鋼腔體，帶有水冷夾層，可通入冷卻水 l 腔體上安裝有石英窗口，以便觀察樣品 l 腔體真空度：10-5Torr（采用分子泵） l 腔體尺寸：Φ257*360mm
真空計(jì)	腔體上安裝有數(shù)顯防腐真空計(jì)和機(jī)械壓力表
電弧槍	l 共有4個(gè)電弧槍?zhuān)勺寴悠返玫骄鶆虻臏貓?chǎng)（電弧槍都帶有冷卻水） l 鎢電極直徑為Φ4mm l 電弧腔體對(duì)樣品的角度和距離可手動(dòng)調(diào)節(jié) l 起弧電源： 18 V / 185 A 電壓380V l 熔煉溫度可達(dá)3000℃
樣品臺(tái)	l 采用水冷銅坩堝 l 可投如樣品量為60g(按鐵計(jì)算)
提拉機(jī)構(gòu)	l 控制器控制提拉機(jī)構(gòu)的提拉速度，轉(zhuǎn)速和轉(zhuǎn)速 l 提拉速度：0.2-10mm/h l 提拉行程：0-70mm l 轉(zhuǎn)速：0-40RPM
控制單元	可顯示和設(shè)置單晶生長(zhǎng)的參數(shù)（起弧電流，提拉桿轉(zhuǎn)速，提拉行程和轉(zhuǎn)速）
真空泵	l 設(shè)備中配有一分子泵系統(tǒng)（機(jī)械泵+渦旋分子泵） l 抽氣速率：100L/S l 可使設(shè)備腔體的真空度達(dá)到10-5Torr(40分鐘內(nèi))
循環(huán)水冷機(jī)	l 功率：800W l 水流速度：58L/min l 制冷能力：5004W（17500Btu/hour） l 溫度控制：5~30 °C
設(shè)備尺寸	800mm（L）800mm（W）1500mm(H)

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